摘要：随着对大功率、散热、抗干扰器件的要求越来越高，以Ga203为代表的第三代半导体材料登上了舞台，它们共同的特点即是禁带宽度大，热稳定性好、化学稳定性好，加上良好的散热性，使得第三代半导体材料在大功率器件制备等领域的应用前景十分广阔。